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牛尾电机株式会社(总部:日本东京，社长：朝日崇文，以下简称Ushio)宣告，将从2026年Q1开端承受面向大晶圆的UX-4系列全场投影光刻机的新产品“UX-45114SC”的订单，该产品完成了应对φ6/φ8英寸的一起，分辨率可到达L/S=2.8μm的高套准精度。
“UX-45114SC”是UX-4系列的最新机型，UX-4系列光刻机多年以来一向服务于功率半导体、MEMS传感器、通讯及光电交融相关 (光半导体)等范畴，致力于进步元器件的出产功率，并具有很多的导入实绩。
近年来，跟着这些元器件的高性能化要求开展，要一向推动线路的细微化。别的，为了更好的进步芯片的出产功率，也产生了晶圆的大口径化方针，φ6/φ8英寸化也在不断推动。为满意这些需求，Ushio依托自创业以来培养的首创光学规划技能，选用与以往不同的特别光学显微镜，成功研制出了支撑φ6/φ8英寸、分辨率L/S=2.8μm的高套准精度产品UX-45114SC。
因而，关于物联网、5G、移动开展等下一代电子元器件所不可或缺的晶圆大型化和高精度化叠层要求，在坚持高产速的一起进步分辨率和套准精度，可完成和传统产品平等乃至以上的出产功率和高成品率。
Ushio往后也将作为面向大晶圆全场投影光刻机的抢先企业，用“光”为完成便当和舒适的社会贡献力量。
※依据滤片，能够更改分辨率和DOF的组合 “分辨率2.8μm, DOF±10μm”或“分辨率3μm, DOF±20μm”
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